集成电路工艺原理芯片制造课程试题.pdfVIP

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  • 2026-04-19 发布于河北
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集成电路工艺原理芯片制造课程试题.pdf

一、填空题3(0分=1分*30)10题/章

晶圆制备

1.用来做芯片的高纯硅被称为(半导体级硅),英简称(GSG),有时也被称为(电子级

硅)。

2.单晶硅生长常用(CZ法)和(区熔法)两种生长方式,生长后的单晶硅被称为(硅

锭)。

3.晶圆的英是(wafer),其常用的材料是(硅)和(错)。

4.晶圆制备的九个工艺环节分别是(单晶生长)、整型、(切片)、磨片倒角、刻蚀、

(抛光)、清洗、检查和包装。

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