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CN119414199A 晶圆测试方法、系统及测试机 （上海炬仁半导体有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-19 发布于山西
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CN119414199A 晶圆测试方法、系统及测试机 （上海炬仁半导体有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119414199A

    (43)申请公布日2025.02.11

    (21)申请号202411894705.2

    (22)申请日2024.12.20

    (71)申请人上海炬仁半导体有限公司

    地址201203上海市浦东新区中国（上海）

    自由贸易试验区郭守敬路498号8幢19

    号楼3层

    (72)发明人刘通

    (74)专利代理机构深圳睿臻知识产权代理事务所(普通合伙)44684

    专利代理师张海燕

    (51)Int.Cl.

    G01R31/26(2020.01)

    G01R35/00(2006.01)

    权利要求书2

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