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CN119413088A 空气隙测量方法、装置、计算机设备和存储介质 （浙江求是半导体设备有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-19 发布于山西
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CN119413088A 空气隙测量方法、装置、计算机设备和存储介质 （浙江求是半导体设备有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119413088A

    (43)申请公布日2025.02.11

    (21)申请号202510026562.1

    (22)申请日2025.01.08

    (71)申请人浙江求是半导体设备有限公司

    地址311100浙江省杭州市临平区临平街

    道顺达路500号1幢102室

    申请人浙江晶盛机电股份有限公司

    (72)发明人朱亮王悦俞晨阳陈淑楠

    (74)专利代理机构杭州华进联浙知识产权代理

    有限公司33250

    专利代理师郜蕾

    (51)Int.Cl.

    G01B11/06(2006.01)

    权利要求书2

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