新阴极除气与激活方法.pdfVIP

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  • 2026-04-22 发布于北京
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新阴极的除气激活

南方地区,如果有条件,可以提前把新阴极在使用前放入烘箱250度烘干30分

钟。主要目的是除去阴极中的水份,方便激活。

1.将新阴极装入aps源。

2.抽真空到10-5mba(10-3Pa)。

3.打开functionsaps2-2加热升温时间300秒;加热功率1.8KW,保温

时间120秒。选择controlled模式,加热。

缓慢的升温,有利于有害气体的排除。

4.切入aps1-2选择constant模式

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