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纳米级表面成像与测量技术探索

目录

一、纳米尺度表界面结构可视化手段．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

以力显微探针为核心的高分辨扫描方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

光电子能谱对接扫描探针显微技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

电子束诱导放电纳米成像应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

二、纳米结构面精度获取与量化评估途径．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

扫描探针仪与干涉计量法的交叉验证．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．7

自主可控三维形貌探测平台开发．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9

多模共线扫描校准体系建设与成效检验．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

三、纳米级特性参数与尺度精度关联分析技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

表观视觉参数与模板深度校准技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14

1.1像差补偿算法开发．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

1.2工程制造用真三维重构算法应用．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

不同工艺路径下稳定性验证评估．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

2.1阵列结构均匀性计量技术对比研究．