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2025年氮化铝生产与应用手册

第1章氮化铝基础特性与材料科学

1.1氮化铝的化学性质与热稳定性

氮化铝（AlN）在常温下化学性质极其稳定，其表面能形成一层致密的氧化氮层，有效隔绝氧气和水分，从而赋予其优异的抗氧化性和耐腐蚀性，这使其成为高温环境下的理想衬底材料。在热稳定性方面，AlN的居里温度高达1000℃以上，且具有良好的热膨胀系数（约8.6×10??/K），与硅、砷化镓等半导体材料的热膨胀系数匹配度极高，可显著降低热应力，防止器件在热循环中开裂或失效。

化学惰性使其在空气中可长期储存而不发生变质，无需特殊的惰性气氛保护，这对大规模工业化生产中的原料存储和运输管理提供了