微束分析 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法.pdfVIP

微束分析金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法

Microbeamanalysis—ThicknessmeasurementongoldcoatinglayerbySEM

1范围

本文件规定了用扫描电镜测定各类金制品的金覆盖层厚度的技术要求，适用覆盖层厚度的测量范

围为几十纳米到数十微米。

本文件适用于用扫描电镜或电子探针仪测量金覆盖层厚度，其他金属材料覆盖层厚度的测量可参

照执行。

注：可测量的最小厚度取决于所用扫描电镜性能和试样状况。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T27418测量不确定度评定和表示

GB/T27788微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

主要表面significantsurface

工件上某些涂覆了覆盖层的表面，在该表面上覆盖层对其使用性能和（或）外观是至关重要的；该

表面上的覆盖层必须符合所有规定要求。

[来源GB/T