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ASTMD5196-21中文版（word版详细解读）电子级超纯水取样测试指南

一、标准概述

ASTMD5196-21是由美国材料与试验协会（ASTMInternational）制定的针对电子级超纯水取样的专项标准，全称为《电子级超纯水取样与样品处理指南》（StandardGuideforSamplingandHandlingofElectronic-GradeUltra-PureWater），该标准于2021年正式发布实施，是对前代版本（ASTMD5196-16）的修订完善版。本次修订重点优化了电子级超纯水取样过程中的污染控制细节、在线取样操作规范，新增了半导体、微电子行业专用取样场景的操作要求，弥补了前代版本在高端电子制造场景中取样针对性不足的短板，更贴合当前电子级超纯水（尤其是半导体芯片制造、高端电子元器件生产用超纯水）的取样测试需求。

电子级超纯水是电子信息产业的核心基础原料，其纯度要求远高于普通超纯水，广泛应用于半导体晶圆清洗、芯片蚀刻、光刻工艺、高端印制电路板（PCB）制造、液晶显示（LCD）面板生产等关键领域。这类领域对超纯水的纯度要求极为严苛，不仅要求极低的金属杂质（ng/L级别），还对微粒、总有机碳（TOC）、细菌、溶解气体等指标有严格控制，而取样过程作为水质检测的首要环节，直接决定了后续检测结果的准确性和可靠性——若取样操作不规范，