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微尺度磨削：机理探究、基础剖析与应用展望

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，现代制造正朝着微型化、高精度化方向迈进，对微小零部件的加工精度、表面质量和复杂程度提出了更高要求。在众多微加工技术中，微尺度磨削凭借其在获得高精度表面和微小尺寸特征方面的独特优势，成为微制造领域的关键技术之一。

在微机电系统（MEMS）制造中，许多微型传感器、执行器等零部件的尺寸在微米甚至纳米量级，其性能和可靠性很大程度上依赖于加工精度和表面质量。微尺度磨削能够实现对这些微小零部件的精密加工，满足MEMS对零部件尺寸精度和表面完整性的严格要求，从而提高微机电系统的性能和稳定性。例如，在生物医学领