2023年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目-br-——“集成电路关键材料前沿探索”项目指南.pdfVIP

2023年度国家自然科学基金指南引导类原

创探索计划项目

一一〃集成电路关键材前沿探索〃项目指南

为贯彻落实党中心、国务院关于加强基础讨论和提升原始创新力

量的重要战略部署，国家自然科学基金委员会（以下简称自然科学基

金委）工程与材科学部拟资助“集成电路关键材前沿探究〃原创探

究方案项目（以下简称原创项目）。集成电路材是集成电路产业进

展的基石，因此自主研发集成电路用关键材尤为重要。本项目通过

材、化学、物理和信息等多学科的深度交叉融合，针对集成电路制

造过程中涉及到的关铤金属材、无机非金属材及有机高分子材,

探究材制备与应用的新原理、新方法与新技术，推动原始创新，为

突破集成电路材