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《集成电路电子设计自动化工具OPC建模工具输入数据格式》标准立项修订与发展报告

GB/T2025007652《集成电路电子设计自动化工具OPC建模工具输入数据格式》标准发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportonGB/T2025007652“Integratedcircuitelectronicdesignautomationtool-inputdataformatforOpticalProximityCorrection(OPC)modelingsimulation”

摘要

随着集成电路制造工艺节点不断向7纳米、5纳米及更先进制程演进，计算光刻技术已成为保障芯片图形精确转移至晶圆表面的核心环节。光学临近校正（OPC）作为计算光刻工业软件的关键组成部分，其建模精度与效率直接决定了芯片制造的良率与性能。长期以来，全球计算光刻市场被少数国外软件巨头垄断，导致OPC建模所需的输入数据格式由各软件供应商自定义，缺乏统一标准。这种局面造成了晶圆厂（代工厂）与不同EDA工具供应商之间数据交互复杂、沟通成本高昂、效率低下，严重制约了国内计算光刻产业链的协同发展与自主可控进程。

本报告围绕国家标准GB/T2025007652《集成电路电子设计自动化工具OPC建模工具输入数据格式》的制定背景、核心内容、技术要点及产