JJF(皖) 146-2023 白光干涉轮廓仪校准规范.docxVIP

(皖)安徽省地方计量技术规范JJF（皖）146—2023白光干涉轮廓仪校准规范CalibrationSpecificationforWhiteLightInterferenceProfiler2023-01-09发布2023-03-01实施安徽省市场监督管理局发布

(皖)

安徽省地方计量技术规范

JJF（皖）146—2023

白光干涉轮廓仪校准规范

Calibration

Specification

for

White

Light

Interference

Profiler

2023-01-09发布

2023-03-01实施

安徽省市场监督管理局

发布

JJF（皖）146—2023白光干涉轮廓仪校准规范CalibrationSpecificationforWhiteLightJJF(皖)146-2023InterferenceProfiler归口单位：安徽省几何量计量技术委员会主要起草单位：安徽省计量科学研究院安徽省长江计量所参加起草单位：深圳市中图仪器股份有限公司中国计量大学合肥一煊检测技术有限公司中乾格致精密测量技术（杭州）有限公司本规范委托安徽省几何量计量技术委员会解释

JJF（皖）146—2023

白光干涉轮廓仪校准规范

CalibrationSpecificationforWhiteLight

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