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洁净室及相关受控环境系列丛书 洁净工程应用技术211-280.docx

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    100洁净室相关设备

    100

    洁净室相关设备

    本章参考资料

    [1]蔡杰.空气过滤ABC.北京：中国建筑工业出版社，2002.

    [2]GB/T14295—2008空气过滤器.

    [3]GB/T6165—2008高效空气过滤器的性能试验方法效率和阻力.

    [4]许钟麟，沈晋明.空气洁净技术应用.北京：中国建筑工业出版社，1989.

    [5]中国航天建筑设计院译.微电子污染控制手册.1993.

    [6]立木英机，安部郁夫.活性炭的应用技术——其维护管理及存在问题.南京：东南大学出版社，2002.

    [7]HwaiyuGeng.半导体集成电路制造手

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