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纳米级集成电路制造的关键工艺研究

目录

纳米级集成电路概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1定义与特点．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2发展历程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

1.3应用领域．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

纳米级材料制备．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.1纳米微粒的制备方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8

2.2纳米线的生长技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.3纳米颗粒的组装与自组装．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12

纳米级图形转移技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.1光刻技术的创新与发展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.2电子束光刻与离子束光刻．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

3.3扫