CN119422469A 成膜装置、成膜方法及电子器件的制造方法 （佳能特机株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119422469A

(43)申请公布日2025.02.11

(21)申请号202380049683.7

(22)申请日2023.06.01

(30)优先权数据

2022-1073392022.07.01JP

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.25

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2023/0204092023.06.01

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/004501JA2024.01.04

(71)申请人佳能特机株式会社

地址日本

(72)发明人滨野