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- 2026-04-23 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120041803A
(43)申请公布日2025.05.27
(21)申请号202510214495.6
(22)申请日2025.02.25
(71)申请人上海华力集成电路制造有限公司
地址201203上海市浦东新区康桥东路298
号1幢1060室
(72)发明人孙佳欣
(74)专利代理机构上海浦一知识产权代理有限
公司31211
专利代理师郭四华
(51)Int.Cl.
C23C16/14(2006.01)
C23C16/02(2006.01)
C23C16/34(2006.01)
权利要求书1
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