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CN119824391A 一种用于化学气相沉积的供气系统及方法 （光驰半导体技术(上海)有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-04-23 发布于重庆
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CN119824391A 一种用于化学气相沉积的供气系统及方法 （光驰半导体技术(上海)有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119824391A

    (43)申请公布日2025.04.15

    (21)申请号202510200848.7

    (22)申请日2025.02.24

    (71)申请人光驰半导体技术（上海）有限公司

    地址200444上海市宝山区城银路297号5

    幢1层

    (72)发明人周皓天魏兴卿杨启忠魏晓庆

    (74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

    11332

    专利代理师杨梦欢

    (51)Int.Cl.

    C23C16/448(2006.01)

    C23C16/52(2006.01)

    B08B9/032(2006.01)

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