CN120198369A 基于自编码器的关键尺寸扫描电子显微镜测量错误检测方法 (浙江大学杭州国际科创中心).pdfVIP

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  • 2026-04-24 发布于重庆
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CN120198369A 基于自编码器的关键尺寸扫描电子显微镜测量错误检测方法 (浙江大学杭州国际科创中心).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120198369A

(43)申请公布日2025.06.24

(21)申请号202510214836.XG06T5/70(2024.01)

G06T5/60(2024.01)

(22)申请日2025.02.26

G06N3/0455(2023.01)

(71)申请人浙江大学杭州国际科创中心

G06N3/0464(2023.01)

地址310000浙江省杭州市萧山区经济技

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