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CN119439654A 一种光刻机的量产过程方法、装置、设备和介质 （上海芯东来半导体科技有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-24 发布于山西
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CN119439654A 一种光刻机的量产过程方法、装置、设备和介质 （上海芯东来半导体科技有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119439654A

    (43)申请公布日2025.02.14

    (21)申请号202510039043.9

    (22)申请日2025.01.10

    (71)申请人上海芯东来半导体科技有限公司

    地址201200上海市浦东新区川沙新镇川

    宏路300号东3幢

    (72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

    (74)专利代理机构上海乐泓专利代理事务所(普通合伙)31385

    专利代理师张浪

    (51)Int.Cl.

    G03F7/20(2006.01)

    权利要求书2页说明书8页附图4页

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