CN119433436A 掩膜板结构、光学结构的形成方法、衍射光波导 (上海大学).docxVIP

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  • 2026-04-24 发布于山西
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CN119433436A 掩膜板结构、光学结构的形成方法、衍射光波导 (上海大学).docx

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119433436A

(43)申请公布日2025.02.14

(21)申请号202510038250.2

(22)申请日2025.01.10

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人刘海

(74)专利代理机构上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙)31343

专利代理师徐桂凤

(51)Int.Cl.

C23C14/04(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

G02B6/00(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图5

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