CN120072676A 探针卡的整平方法、整平装置及探针卡 （美博科技(苏州)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120072676A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510226887.4

(22)申请日2025.02.27

(71)申请人美博科技（苏州）有限公司

地址215168江苏省苏州市吴中经开区城

南街道南湖路58号4号楼

(72)发明人徐兴光王景峰闫立民

(74)专利代理机构苏州京昀知识产权代理事务

所(普通合伙)32570

专利代理师吴冕

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

G01R1/073(2006.01)

G01R1/067(2006.01)