《半导体材料术语》标准立项修订与发展报告
EnglishTitle:DevelopmentReportontheRevisionofSemiconductorMaterialsTerminologyStandard
摘要
本报告聚焦于GB/T14264-2009《半导体材料术语》标准的修订工作。该标准作为半导体行业的基础性纲领文件,自2009年发布以来,已无法适应近年来半导体行业的快速发展。随着太阳能电池技术、碳化硅、蓝宝石等新型半导体材料的兴起,以及多晶硅、大直径硅片等传统技术的进步,原标准中术语缺失、定义不完善的问题日益凸显。本次修订工作旨在扩大标准适用范围,新增太
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