CN120098029A 一种电子级五（二甲氨基）钽的制备方法 （广东先导微电子科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120098029A

(43)申请公布日2025.06.06

(21)申请号202510215433.7

(22)申请日2025.02.26

(71)申请人广东先导微电子科技有限公司

地址511517广东省清远市高新区创兴三

路16号A车间

(72)发明人江德圣陆鸿鑫周锦荣夏泽铭

(74)专利代理机构广州三环专利商标代理有限

公司44202

专利代理师许东辉

(51)Int.Cl.

C07F9/00(2006.01)

权利要求书1页说明书6页附图1页

(54)发明名称

一种电子级五（二甲氨基）钽的制备