中科仪-市场前景及投资研究报告-半导体干式真空泵国产龙头,募投产能,技术迭代,共驱成长.pdf

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证券研究报告·新股研究报告·其他通用设备制造业

中科仪(920186)

半导体干式真空泵龙头,募投产能2026年04月24日

释放与技术迭代共驱成长

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投资要点

◼中科仪:国内干式真空泵集成电路领域出货量最大,唯一实现先进制程

批量应用的国产企业。中科仪作为中国科学院下属企业,长期专注于洁

净与超高真空技术研发,是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器

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