CN120072745A 一种金属纳米颗粒机械离心堆垛-低温热处理成型的晶圆级盲孔填充方法 （西北工业大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120072745A

(43)申请公布日2025.05.30

(21)申请号202510223554.6

(22)申请日2025.02.27

(71)申请人西北工业大学

地址710072陕西省西安市碑林区友谊西

路127号

(72)发明人叶涛夏前伏张芯瑞

(51)Int.Cl.

H01L21/768(2006.01)

B82Y40/00(2011.01)

权利要求书1页说明书6页附图3页

(54)发明名称

一种金属纳米颗粒机械离心堆垛-低温热处

理成型的晶圆级盲孔填充方法

(57)摘要

本发明公开一种金属纳米颗粒机械离心堆