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- 2026-04-25 发布于浙江
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第4节气相和液相沉积法;2.5气相沉积法;2.5.1羰基法;羰基法的特点
粉末粒度细小
球形粉末
纯度高
成本较高
具有毒性;基本原理;2.5.1羰基法;粉末粒度、形貌的影响因素
粒度的影响:取决于各区的温度和气流量的大小,较大的热解温度和气流,平均粒度较小,反之则较大。
形貌的影响:取决于温度,离解温度低粉末呈尖角状,进一步提高温度呈球形,继续提高离解温度高粉末呈絮状组织。;?;2.5.2气相还原;WCl6还原反应:
WCl6(g)+H2(g)==W(s)+6HCl(g)
400度开始反应,在反应器壁生成膜状沉积物,温度升高,粉末状逐渐增多,900度,得到的全是粉末
影响因素:
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