原创力文档nist -基于人工智能的扫描电子显微镜（SEM）尺寸计量的检测限 Detection limits of AI-based SEM dimensional metrology.pdfVIP
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- 2026-04-28 发布于广东
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DetectionLimitsofAI-basedSEMDimensionalMetrology
PeterBajcsy,BrycieWiseman,MichaelMajurski,AndrasE.Vladar
NationalInstituteofStandardsandTechnology,100BureauDr.Gaithersburg,MD20899
Thespeedofin-linescanningelectronmicroscope(SEM)measurementsoflinewidth,contact
hole,andoverlayiscriticallyimportantforidentifyingthemeasurementareaandgenerating
indispensableprocesscontrolinformation.Samplecharginganddamagetosensitiveintegrated
circuitstructuresrequirelowprimaryelectronbeamcur
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