半导体器件 第14-12部分：半导体传感器 基于 CMOS 成像的气体传感器的性能测试方法.pdfVIP

半导体器件第14-12部分：

半导体传感器基于CMOS成像的气体传感器的性能测试方法

1范围

本文件规定了基于CMOS成像的气体传感器性能测试方法，包括术语与定义、测试环境条件、测试

系统、测试方法和测试报告。本文件适用于基于CMOS无透镜成像和基于CMOS透镜成像的气体传感

器的性能测试。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1通用术语

3.1.1

零气zerogas

目标成分含量足够低的气体或气体混合物，用于在给定的含量范围内产生气体传感器的零点响应。

[来源：ISO7504：2015，5.6，有修改]

3.1.2

目标气体targetgas

气体传感器的测试对象，是包含一定浓度敏感成份的一种气体或者或多种气体的混合物，

用于测试气体传感器的性能。

注：气体浓度用体积分数表示。

3.1.3

敏感单元sensingunit

当与特定气体接触时会发生反应的一种材料所形成的传感区域。

3.1.4

像素值pixelvalue

像素的红色通道值、绿色通道值、蓝色通道值、或像素的灰度值。

3.1.