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《电子气体蚀刻用混合气体》标准立项修订与发展报告

电子气体蚀刻用混合气体国家标准发展报告

EnglishTitle:NationalStandardDevelopmentReportforElectronicGas-MixedGasforEtch

摘要

随着半导体制造工艺的不断演进，蚀刻技术作为集成电路制造的核心环节，对工艺用气体的纯度、组分精度及稳定性提出了极为严苛的要求。蚀刻用混合气体作为关键电子化学品，其质量直接决定了芯片制造的良品率与性能。然而，长期以来，我国在该领域缺乏统一的国家标准，导致产品质量参差不齐，制约了产业链的自主可控与高质量发展。为填补这一空白，国家标准化管理委员会正式立项制定《电子气体蚀刻用混合气体》推荐性国家标准（计划号：2026000303）。本报告围绕该标准的制定背景、技术内容、起草单位及行业影响展开系统阐述。标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（TC203）归口，其气体分会（SC1）执行，汇聚了昊华气体有限公司西南分公司、大连大特气体有限公司、中国计量科学研究院等12家行业领军企业与科研机构共同起草。标准规定了蚀刻用混合气体的技术要求、试验方法、制备、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息等全链条内容，适用于以电子大宗气体及电子特种气体为原料制备的蚀刻用混合气体。该标准的制定将有效规范市场秩序，提升