工艺废气处理简介.docx

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工艺废气处理系统简介

型光科技有限公司

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目录

一、工艺废气处理的概念

二、工艺废气处理系统的分类

三、工艺废气处理系统的处理原理

四、工艺废气处理系统的主要设备介绍

五、关于黄烟和白雾

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一、工艺废气处理的概念

首先,在半导体或光电产业制造生产过程中,使用了大量的易燃溶剂、气体及化学品,这些化学物质大多对人体是有害的,甚至多种化学物质发生化学反应之后,会产生令人不可预期的化学物质,而存在这些化学物质的空气,便为有害的工艺废气。

其次,

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