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芯片微纳制造技术.docx

芯片微纳制造技术.docx

    第二部分芯片制造原理与技术

    材料科学与工程学院

    芯片发展历程与莫尔定律

    晶体管结构与作用

    芯片微纳制造技术

    主要内容

    1.薄膜技术

    2.光刻技术

    3.互连技术

    4.氧化与掺杂技术

    1.薄膜技术

    IC中的薄膜

    n+n+

    n+n+USGp+p+

    P-wellN-well

    P-epi

    P-wafer

    钝化层2

    PD1

    IMDorILD2

    WCVD

    浅槽隔离

    TiNCVD

    Al?Cu

    Meta

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