CN119932540A 一种芯片多层薄膜的制作装置及方法 (华南理工大学).pdfVIP

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  • 2026-04-27 发布于重庆
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CN119932540A 一种芯片多层薄膜的制作装置及方法 (华南理工大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119932540A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510222900.9

(22)申请日2025.02.27

(71)申请人华南理工大学

地址510641

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