CN119710645A 气相生长设备的预处理方法及三五族化合物薄膜制备方法 （蓝河科技(绍兴)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119710645A

(43)申请公布日2025.03.28

(21)申请号202510221098.1

(22)申请日2025.02.27

(71)申请人蓝河科技（绍兴）有限公司

地址311800浙江省绍兴市诸暨市陶朱街

道万旺路8号1号楼1楼

(72)发明人童中华卞祖健魏晓骏郑翔

林桂荣徐春阳邢志刚黄小辉

张伟

(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事

务所(普通合伙)31286

专利代理师黄海霞

(51)Int.Cl.

C23C16/458(2006.01)

C23C16/30(2006.01)

C