CN120180285A 最佳工艺参数预测方法、系统、设备及存储介质 （上海积塔半导体有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120180285A

(43)申请公布日2025.06.20

(21)申请号202510239028.9

(22)申请日2025.02.28

(71)申请人上海积塔半导体有限公司

地址201306上海市浦东新区自由贸易试

验区临港新片区云水路600号

(72)发明人周恩培俞崔前王鲁钦张继伟

胡林辉周华

(74)专利代理机构上海隆天律师事务所31282

专利代理师夏彬

(51)Int.Cl.

G06F18/243(2023.01)

G06F18/22(2023.01)

G06F18/214(2023.01)

G06N3/008(2023.01)