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单晶片加工工专项题库
一、单选题(只有一个正确答案)
1.单晶片加工中,用于去除表面氧化层的工艺是?
A.离子注入
B.湿法刻蚀
C.干法刻蚀
D.氧化
答案:B
解析:湿法刻蚀可以有效去除表面氧化层。
2.在单晶片加工过程中,光刻胶的主要作用是?
A.保护金属层
B.作为导电材料
C.作为掩膜层
D.作为绝缘层
答案:C
解析:光刻胶在光刻过程中作为掩膜层,用于定义图形。
3.单晶片加工中,化学机械抛光(CMP)的主要目的是?
A.去除杂质
B.提高表面平整度
C.增加导电性
D.改变晶体结构
答案:B
解析:CM
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