2026年单晶片加工工专项题库.docx

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单晶片加工工专项题库

一、单选题(只有一个正确答案)

1.单晶片加工中,用于去除表面氧化层的工艺是?

A.离子注入

B.湿法刻蚀

C.干法刻蚀

D.氧化

答案:B

解析:湿法刻蚀可以有效去除表面氧化层。

2.在单晶片加工过程中,光刻胶的主要作用是?

A.保护金属层

B.作为导电材料

C.作为掩膜层

D.作为绝缘层

答案:C

解析:光刻胶在光刻过程中作为掩膜层,用于定义图形。

3.单晶片加工中,化学机械抛光(CMP)的主要目的是?

A.去除杂质

B.提高表面平整度

C.增加导电性

D.改变晶体结构

答案:B

解析:CM

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