真空技术 真空计 稳定型电离真空计特性.pdfVIP

真空技术真空计稳定型电离真空计特性

1范围

[2]

本文件描述了一种特殊设计的电离真空计，其具有明确的电子路径长度。基于该结构设计，该真

[3][4]

空计具有测量精度高、长期稳定性好，且对于氮气的灵敏度及相对灵敏度因子均具有良好的复现性，

-6-2

适用于测量范围10Pa~10Pa。

本文件仅描述与电子和离子运动轨迹相关的规管尺寸及电势，不涉及电离真空计运行所需的电子学

单元的详细描述。该规管能通过市售电压源、电源及电流表驱动，也能使用专门设计的控制单元进行操

作。

本文件所述电离真空计能由任何具备电离真空计生产经验的制造商制造，且不作知识产权保护。

本文件假设使用者熟悉电离真空计的物理原理及高真空/超高真空技术基础知识。

注：这种电离真空计通常称为稳定型电离真空计，也常称为计量级电离真空计。

2规范性引用文件