CN120215216A 干涉曝光光路平行度调整方法 （长沙麓邦光电科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120215216A

(43)申请公布日2025.06.27

(21)申请号202510328027.1

(22)申请日2025.03.19

(66)本国优先权数据

202510234763.02025.02.28CN

(71)申请人长沙麓邦光电科技有限公司

地址410206湖南省长沙市高新开发区岳

麓西大道2450号环创园A-6区N单元6

层602

(72)发明人杨阳廖欣亚李晓春

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

G02B27/30(2006.01)

G02B27/42(2006.01)

G02B27/44(2006.01)