CN120183578A 微纳加工工艺中的mems结构应力分布分析与优化方法 (清华大学).pdfVIP

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  • 2026-04-28 发布于重庆
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CN120183578A 微纳加工工艺中的mems结构应力分布分析与优化方法 (清华大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120183578A

(43)申请公布日2025.06.20

(21)申请号202510244045.1

(22)申请日2025.03.03

(71)申请人清华大学

地址100000北京市海淀区清华园

申请人上海映芯谐振机电科技有限公司

(72)发明人刘磊黄磊

(74)专利代理机构济南知来知识产权代理事务

所(普通合伙)37276

专利代理师程先萍

(51)Int.Cl.

G16C60/00(2019.01)

G16C10/00(2019.01)

G06F30/20(2020.01)

G06F119/14(2020.01)

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