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  • 2026-04-29 发布于河北
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顺大半导体发展有限企业太阳能用硅单晶片生产技术.pdf

顺大半导体发展有限企业太阳能用

硅单晶片生产技术

目录

一、硅片生产工艺中使用重要原辅材料

1、拉制单晶用原辅材料,设备和部件:

2、供硅片生产用原辅材料,设备和部件:

二、硅片生产工艺技术

1、硅单晶生产部

(1)、腐蚀清洗工序生产工艺技术

对处理后原材料质量规定

2()、腐蚀清洗生产工艺流程

①多晶硅块料,复拉料和

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