第二章太阳能电池5、去除背结太阳能电池的生产工艺流程步骤:在扩散过程中,硅片的背面和周边也形成了PN结,为防止短路,需要通过刻蚀将其去除,同时去除正面的磷硅玻璃。刻蚀方法湿法刻蚀干法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术,是最普遍、也是设备成本最低的刻蚀方法。它是一种纯化学刻蚀,具有优良的选择性,刻蚀完当前薄膜就会停止,而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。图2-8湿法刻蚀工艺流程第二章太阳能电池6、制备减反射膜太阳能电池的生产工艺流程
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