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CN119465096A 一种空间型ald镀膜装置、镀膜方法和复合膜 （光驰半导体技术(上海)有限公司）.docxVIP

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  • 2026-04-29 发布于山西
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CN119465096A 一种空间型ald镀膜装置、镀膜方法和复合膜 （光驰半导体技术(上海)有限公司）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119465096A

    (43)申请公布日2025.02.18

    (21)申请号202510059676.6

    (22)申请日2025.01.15

    (71)申请人光驰半导体技术（上海）有限公司

    地址200444上海市宝山区城银路297号5

    幢1层

    (72)发明人蓝芝江朱瑞环莫姗

    (74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332

    专利代理师赵颖

    (51)Int.Cl.

    C23C16/455(2006.01)

    C23C16/458(2006.01)

    权利要求书2页说明书9页附图

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