CN120041797A 一种镍铁合金靶材及其制备方法与应用 （宁波江丰电子材料股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120041797A

(43)申请公布日2025.05.27

(21)申请号202510243179.1

(22)申请日2025.03.03

(71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司

地址315400浙江省宁波市余姚市经济开

发区名邦科技工业园区安山路

(72)发明人边逸军姚力军孙慧芳吴东青

(74)专利代理机构北京远智汇知识产权代理有

限公司11659

专利代理师牛海燕

(51)Int.Cl.

C23C14/35(2006.01)

B22F3/04(2006.01)

B22F3/10(2006.01)

B22F3/15(2006.01)