CN120041795A 一种一体化钼靶材制备方法 （亚芯半导体材料(江苏)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120041795A

(43)申请公布日2025.05.27

(21)申请号202510231987.6

(22)申请日2025.02.28

(71)申请人亚芯半导体材料（江苏）有限公司

地址213000江苏省常州市天宁区福阳路

61号

(72)发明人程其兵毛思宁陈凌鹏陈箫箫

(74)专利代理机构常州星颂专利代理事务所

(普通合伙)32916

专利代理师牛志清

(51)Int.Cl.

C23C14/34(2006.01)

B22D7/00(2006.01)

C22F1/18(2006.01)

C21D9/00(2006.01)

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