集成梳状静电预加载微纳材料力学性能检测结构.pdf

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(21)申请号201310718672.1

(22)申请日2013.12.24

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN103808565A

(43)申请公布日2014.05.21

(66)本国优先权数据201310662541.62013.12.10CN

(73)专利权人地址100084市海淀区100084-82信箱

(72)发明人

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