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探秘AlN材料：缺陷调控机制与物性关联的深度剖析

一、引言

1.1AlN材料概述

氮化铝（AlN）作为一种重要的Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料，自1862年被发现以来，其研究与应用不断取得突破。AlN通常呈现为六方纤锌矿晶体结构，属类金刚石氮化物，这种独特的结构赋予了AlN许多优异的性能。在热学方面，AlN具有出色的热导率，理论值可达320W?m-1?K-1，在实际应用中，通过优化制备工艺和控制杂质含量，其热导率也能达到较高水平，例如一些高品质的AlN陶瓷热导率可接近200W?m-1?K-1，良好的热导率使得AlN成为热管理领域的理想材料。同时，AlN的热膨胀系数