CN120109072A 一种晶圆传送系统 （丁欣）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120109072A

(43)申请公布日2025.06.06

(21)申请号202510252665.X

(22)申请日2025.03.04

(71)申请人丁欣

地址200131上海市浦东新区自由贸易试

验区临港新片区新杨公路1588号4幢

申请人上海埃延半导体有限公司

(72)发明人丁欣

(74)专利代理机构上海智晟知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)31313

专利代理师张东梅

(51)Int.Cl.

H01L21/683(2006.01)

H01L21/677(2006.01)

H01L21/687(2006.01)