CN120109036A 一种芯片转移载板与基板间隙激光测量系统和方法 （佛山大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120109036A

(43)申请公布日2025.06.06

(21)申请号202510249228.2

(22)申请日2025.03.04

(71)申请人佛山大学

地址528225广东省佛山市南海区狮山镇

广云路33号

(72)发明人乔健冉雨宣金哲杨景卫

翁占坤朱俊禧李俊杰

(74)专利代理机构北京和联顺知识产权代理有

限公司11621

专利代理师叶正青

(51)Int.Cl.

H01L21/66(2006.01)

H10H29/03(2025.01)

G01B11/14(2006.01)

G01B11/06(2