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- 2026-05-01 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN120143556A
(43)申请公布日2025.06.13
(21)申请号202510249865.X
(22)申请日2025.03.04
(71)申请人北京理工大学
地址100081北京市海淀区中关村南大街5
号
(72)发明人马旭汪冰洋
(74)专利代理机构北京理工大学专利中心
11120
专利代理师高会允
(51)Int.Cl.
G03F7/20(2006.01)
G06F17/18(2006.01)
权利要求书6页说明书15页附图4页
(54)发明名称
基于信息论的光刻成像保真
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