CN119487234A 用于处理多个基板的基板处理系统和在直列式基板处理系统中处理基板的方法 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119487234A

(43)申请公布日2025.02.18

(21)申请号202280097767.3

(22)申请日2022.10.19

(30)优先权数据

63/357,9712022.07.01US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.12.31

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/IB2022/0600482022.10.19

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/003603EN2024.01.04

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人