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CN119487452A 增强型euv光刻胶及其使用方法 （亚历克斯·P·G·罗宾逊）.docxVIP

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  • 2026-05-06 发布于山西
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CN119487452A 增强型euv光刻胶及其使用方法 （亚历克斯·P·G·罗宾逊）.docx

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119487452A

    (43)申请公布日2025.02.18

    (21)申请号202380041798.1

    (22)申请日2023.05.22

    (30)优先权数据

    63/344,6042022.05.22US

    (85)PCT国际申请进入国家阶段日2024.11.20

    (86)PCT国际申请的申请数据

    PCT/IB2023/0003232023.05.22

    (87)PCT国际申请的公布数据

    WO2023/227950EN2023.11.30

    (71)申请人亚历克斯·P·G·罗宾逊地址英国伯明翰

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